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压力传感器工作原理是什么?

作者:欧达轴承网
文章来源:本站

  压阻式压力传感器,顾名思义就是利用了压阻原理来实现压力监测的传感器。目前主要是MEMS技术来实现。

  单晶硅具有良好的压阻效应,因此目前的压阻式压力传感器是主要都是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用MEMS工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生于被测压力成正比的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。

  压力传感器工作原理 1 、应变片压力传感器原理 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。

  

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