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中芯国际7nm用的什么光刻机?

作者:欧达轴承网
文章来源:本站

  中芯国际深圳工厂从荷兰进口了台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,目前量产的最先进制程为第一代FinFET14nm.

  中芯国际7nm用的14nm光刻机

  

中芯国际7nm用的什么光刻机?

  

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