光刻机7纳米是指芯片的工艺制程。

　　7纳米实际是个距离单位，纳米就是毫米的百万分之一长度，在芯片领域纳米指的是芯片的删极宽度，就是芯片的最小构成-硅晶体管的删极宽度。而光刻机一般是根据光源来分的，所谓7纳米芯片是指用13.5纳米波长的极紫外光euv光刻机，通过技术手段加工出7纳米芯片，也就是所谓的多次曝光，所以并不是光刻机是7纳米的。

　　光刻机七纳米。含义是，荷兰生产的极紫外外光刻机。生产的芯片制程，线路距离。宽度是七纳米以内。也就是说在同样的芯片大小。刻画出更多的电子线路连接更多的晶体管儿。