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金刚石

cvd金刚石的主要制备方法?cvd金刚石薄膜制备及其结构

一、热丝CVD法热丝CVD法是将氢气和甲烷、乙炔等碳氢化合物按一定比例混合通入反应腔体内,流经电加热至2000℃以上的热丝,在其表面和附近被高温分解成原子氢和多种碳氢基团,随后发生复杂的吸附与解吸附反应,之后在合适温度(700~1000℃)的基底表面成核、生长,形成金刚石涂层......